Low Thermal Budget High-k/Metal Surface Gate for Buried Donor-Based Devices

Fuente: arXiv

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Detalles Bibliográficos
Autores principales:	Anderson, Evan M., Campbell, DeAnna M., Maurer, Leon N., Baczewski, Andrew D., Marshall, Michael T., Lu, Tzu-Ming, Lu, Ping, Tracy, Lisa A., Schmucker, Scott W., Ward, Daniel R., Misra, Shashank
Formato:	Preprint
Publicado:	2020
Materias:	Materials Science Mesoscale and Nanoscale Physics Applied Physics
Acceso en línea:	Acceder al recurso
Etiquetas:	Agregar Etiqueta Sin Etiquetas, Sea el primero en etiquetar este registro!

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https://arxiv.org/abs/2002.09075