Ion implantation in \b{eta}-Ga2O3: physics and technology

Fuente: arXiv

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Détails bibliographiques
Auteurs principaux:	Nikolskaya, Alena, Okulich, Evgenia, Korolev, Dmitry, Stepanov, Anton, Nikolichev, Dmitry, Mikhaylov, Alexey, Tetelbaum, David, Almaev, Aleksei, Bolzan, Charles Airton, Buaczik, Antônio Jr, Giulian, Raquel, Grande, Pedro Luis, Kumar, Ashok, Kumar, Mahesh, Gogova, Daniela
Format:	Preprint
Publié:	2021
Sujets:	Materials Science
Accès en ligne:	Acceder al recurso
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https://arxiv.org/abs/2102.13439