Ion energy distribution function in very high frequency capacitive discharges excited by sawtooth waveform

Fuente: arXiv

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Detalles Bibliográficos
Autores principales:	Sharma, Sarveshwar, Sirse, Nishant, Kuley, Animesh, Turner, Miles M
Formato:	Preprint
Publicado:	2021
Materias:	Plasma Physics
Acceso en línea:	Acceder al recurso
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https://arxiv.org/abs/2106.14847