Experimental System Identification and Disturbance Observer-based Control for a Monolithic $Zθ_{x}θ_{y}$ Precision Positioning System
Fuente:
arXiv
Guardado en:
| Autores principales: | , , , , |
|---|---|
| Formato: | Preprint |
| Publicado: |
2023
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| Materias: | |
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