Plasma induced surface modification of sapphire and its influence on graphene grown by PECVD

Fuente: arXiv

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Lozano, Miguel Sinusia, Bernat-Montoya, Ignacio, Angelova, Todora Ivanova, Mojena, Alberto Boscá, Díaz-Fernández, Francisco J., Kovylina, Miroslavna, Martínez, Alejandro, Cienfuegos, Elena Pinilla, Gómez, Víctor J.
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2023
Schlagworte:	Materials Science Applied Physics
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https://arxiv.org/abs/2303.00494