Atomic Layer Deposited Protective Coating of Aluminum Oxide on Silver-based Telescope Mirror A Comparison Between a Pure Ozone and H2O Precursor
Fuente:
arXiv
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | , , , , , , , |
|---|---|
| Format: | Preprint |
| Veröffentlicht: |
2023
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