Hochreiter, A., Groß, F., Möller, M., Krieger, M., & Weber, H. B. (2023). Electrochemical etching strategy for shaping monolithic 3D structures from 4H-SiC wafers.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Hochreiter, André, Fabian Groß, Morris-Niklas Möller, Michael Krieger, und Heiko B. Weber. Electrochemical Etching Strategy for Shaping Monolithic 3D Structures from 4H-SiC Wafers. 2023.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Hochreiter, André, et al. Electrochemical Etching Strategy for Shaping Monolithic 3D Structures from 4H-SiC Wafers. 2023.
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