Buchumschlag

Electrochemical etching strategy for shaping monolithic 3D structures from 4H-SiC wafers

Fuente: arXiv

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Hochreiter, André, Groß, Fabian, Möller, Morris-Niklas, Krieger, Michael, Weber, Heiko B.
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2023
Schlagworte:	Mesoscale and Nanoscale Physics Applied Physics
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