Electrochemical etching strategy for shaping monolithic 3D structures from 4H-SiC wafers

Fuente: arXiv
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Hauptverfasser: Hochreiter, André, Groß, Fabian, Möller, Morris-Niklas, Krieger, Michael, Weber, Heiko B.
Format: Preprint
Veröffentlicht: 2023
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