Super stealth dicing of transparent solids with nanometric precision

Fuente: arXiv

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Auteurs principaux:	Li, Zhen-Ze, Fan, Hua, Wang, Lei, Zhang, Xu, Zhao, Xin-Jing, Yu, Yan-Hao, Xu, Yi-Shi, Wang, Yi, Wang, Xiao-Jie, Juodkazis, Saulius, Chen, Qi-Dai, Sun, Hong-Bo
Format:	Preprint
Publié:	2023
Sujets:	Optics Applied Physics Plasma Physics
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https://arxiv.org/abs/2308.02352