In-situ Plasma Studies using a Direct Current Microplasma in a Scanning Electron Microscope

Fuente: arXiv

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Grünewald, Lukas, Chezganov, Dmitry, De Meyer, Robin, Orekhov, Andrey, Van Aert, Sandra, Bogaerts, Annemie, Bals, Sara, Verbeeck, Jo
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2023
Schlagworte:	Materials Science Applied Physics
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