Phase-selective growth of $κ$- vs $β$-Ga$_2$O$_3$ and (In$_x$Ga$_{1-x}$)$_2$O$_3$ by In-mediated metal exchange catalysis in plasma-assisted molecular beam epitaxy

Fuente: arXiv
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Ardenghi, A., Bierwagen, O., Lähnemann, J., Kler, J., Falkenstein, A., Martin, M., Mazzolini, P.
Format: Preprint
Veröffentlicht: 2023
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