Area Selective Chemical Vapor Deposition of Gold by Electron Beam Seeding

Fuente: arXiv

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Tsarapkin, Aleksei, Maćkosz, Krzysztof, Jureddy, Chinmai Sai, Utke, Ivo, Höflich, Katja
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2023
Schlagworte:	Materials Science Applied Physics
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https://arxiv.org/abs/2312.00653