Area Selective Chemical Vapor Deposition of Gold by Electron Beam Seeding

Fuente: arXiv
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Autori principali: Tsarapkin, Aleksei, Maćkosz, Krzysztof, Jureddy, Chinmai Sai, Utke, Ivo, Höflich, Katja
Natura: Preprint
Pubblicazione: 2023
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