Local laser-induced solid-phase recrystallization of phosphorus-implanted Si/SiGe heterostructures for contacts below 4.2 K

Fuente: arXiv

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Neul, Malte, Sprave, Isabelle V., Diebel, Laura K., Zinkl, Lukas G., Fuchs, Florian, Yamamoto, Yuji, Vedder, Christian, Bougeard, Dominique, Schreiber, Lars R.
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2023
Schlagworte:	Applied Physics Materials Science
Online-Zugang:	Acceder al recurso
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Schreiben Sie den ersten Kommentar!

Ähnliche Einträge