Effect of Overheat and Direct Flow Loading on the MEMS Bistable Flow Sensor

Fuente: arXiv

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Litvinov, Ivan, Refaeli, Dan, Liberzon, Alex, Krylov, Slava
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2023
Schlagworte:	Applied Physics
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