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Coherent Fourier Scatterometry for detection of killer defects on silicon carbide samples

Fuente: arXiv

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Rafighdoost, Jila, Kolenov, Dmytro, Pereira, Silvania F.
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2023
Schlagworte:	Applied Physics Materials Science
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