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Grayscale Electron Beam Lithography Direct Patterned Antimony Sulfide

Fuente: arXiv

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Wang, Wei, Hübner, Uwe, Chen, Tao, Gärtner, Anne, Köbel, Joseph, Jahn, Franka, Schneidwind, Henrik, Dellith, Andrea, Dellith, Jan, Wieduwilt, Torsten, Zeisberger, Matthias, Shaik, Tanveer Ahmed, Bingel, Astrid, Schmidt, Markus A, Huang, Jer-Shing, Deckert, Volker
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2024
Schlagworte:	Optics Materials Science
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