High-k gadolinium scandate on Si obtained by high pressure sputtering from metal targets and in-situ plasma oxidation
Fuente:
arXiv
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | Pampillón, María Ángela, Andrés, Enrique San, Feijoo, Pedro Carlos, Fierro, José Luis G. |
|---|---|
| Format: | Preprint |
| Veröffentlicht: |
2024
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