Time-Dependent Dielectric Breakdown on Subnanometer EOT nMOS FinFETs

Fuente: arXiv
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Autori principali: Feijoo, Pedro C., Kauerauf, Thomas, Toledano-Luque, María, Togo, Mitsuhiro, Andrés, Enrique San, Groeseneken, Guido
Natura: Preprint
Pubblicazione: 2024
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