Numerical investigation of vacuum ultra-violet emission in Ar/O$_2$ inductively coupled plasmas

Fuente: arXiv
Salvato in:
Dettagli Bibliografici
Autori principali: Engelbrecht, Michel Osca, Jenderny, Jonathan, Hylla, Henrik, Filla, Dominik, Awakowicz, Peter, Korolov, Ihor, Ridgers, Christopher P., Gibson, Andrew R.
Natura: Preprint
Pubblicazione: 2024
Soggetti:
Accesso online:
Tags: Aggiungi Tag
Nessun Tag, puoi essere il primo ad aggiungerne!!