Numerical investigation of vacuum ultra-violet emission in Ar/O$_2$ inductively coupled plasmas

Fuente: arXiv

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Engelbrecht, Michel Osca, Jenderny, Jonathan, Hylla, Henrik, Filla, Dominik, Awakowicz, Peter, Korolov, Ihor, Ridgers, Christopher P., Gibson, Andrew R.
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2024
Schlagworte:	Plasma Physics
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https://arxiv.org/abs/2402.08092