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Non-Destructive, High-Resolution, Chemically Specific, 3D Nanostructure Characterization using Phase-Sensitive EUV Imaging Reflectometry

Fuente: arXiv

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Détails bibliographiques
Auteurs principaux:	Tanksalvala, Michael, Porter, Christina L., Esashi, Yuka, Wang, Bin, Jenkins, Nicholas W., Zhang, Zhe, Miley, Galen P., Knobloch, Joshua L., McBennett, Brendan, Horiguchi, Naoto, Yazdi, Sadegh, Zhou, Jihan, Jacobs, Matthew N., Bevis, Charles S., Karl Jr., Robert M., Johnsen, Peter, Ren, David, Waller, Laura, Adams, Daniel E., Cousin, Seth L., Liao, Chen-Ting, Miao, Jianwei, Gerrity, Michael, Kapteyn, Henry C., Murnane, Margaret M.
Format:	Preprint
Publié:	2024
Sujets:	Optics Applied Physics Instrumentation and Detectors
Accès en ligne:	Acceder al recurso
Tags:	Ajouter un tag Pas de tags, Soyez le premier à ajouter un tag!

Description
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