Buchumschlag

Non-Destructive, High-Resolution, Chemically Specific, 3D Nanostructure Characterization using Phase-Sensitive EUV Imaging Reflectometry

Fuente: arXiv

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Tanksalvala, Michael, Porter, Christina L., Esashi, Yuka, Wang, Bin, Jenkins, Nicholas W., Zhang, Zhe, Miley, Galen P., Knobloch, Joshua L., McBennett, Brendan, Horiguchi, Naoto, Yazdi, Sadegh, Zhou, Jihan, Jacobs, Matthew N., Bevis, Charles S., Karl Jr., Robert M., Johnsen, Peter, Ren, David, Waller, Laura, Adams, Daniel E., Cousin, Seth L., Liao, Chen-Ting, Miao, Jianwei, Gerrity, Michael, Kapteyn, Henry C., Murnane, Margaret M.
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2024
Schlagworte:	Optics Applied Physics Instrumentation and Detectors
Online-Zugang:	Acceder al recurso
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