Controlled Spalling of Single Crystal 4H-SiC Bulk Substrates

Fuente: arXiv

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Horn, Connor P, Wicker, Christina, Wellisz, Antoni, Zeledon, Cyrus, Nittala, Pavani Vamsi Krishna, Heremans, F Joseph, Awschalom, David D, Guha, Supratik
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2024
Schlagworte:	Applied Physics Materials Science
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https://arxiv.org/abs/2404.19716