Thermal stability and phase transformation of $α$-, $κ(ε)$-, and $γ$-Ga$_2$O$_3$ thin films to $β$-Ga$_2$O$_3$ under various ambient conditions

Fuente: arXiv
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Hauptverfasser: Tang, J., Jiang, K., Tseng, P., Kurchin, R. C., Porter, L. M., Davis, R. F.
Format: Preprint
Veröffentlicht: 2024
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