Effect of Helium Ion Implantation on 3C-SiC Nanomechanical String Resonators

Fuente: arXiv

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Bredol, Philipp, David, Felix, Jagtap, Nagesh S., Klaß, Yannick S., Astakhov, Georgy V., Erbe, Artur, Weig, Eva M.
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2024
Schlagworte:	Mesoscale and Nanoscale Physics
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