Importance of Gas Heating in Capacitively Coupled Radiofrequency Plasma-assisted Synthesis of Carbon Nanomaterials

Fuente: arXiv

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Nikhar, Tanvi, Basu, Sankhadeep, Abe, Shota, Yatom, Shurik, Raitses, Yevgeny, Anthony, Rebecca, Baryshev, Sergey V.
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2024
Schlagworte:	Plasma Physics Materials Science
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https://arxiv.org/abs/2405.02974