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Structural, electronic, and optical properties of 6H-SiC layers synthesized by implantation of carbon ions into silicon

Fuente: arXiv

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Boukhvalov, D. W., Zatsepin, D. A., Biryukov, D. Yu., Shchapova, Yu. V., Gavrilov, N. V., Zatsepin, A. F.
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2024
Schlagworte:	Materials Science Applied Physics
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