Structural, electronic, and optical properties of 6H-SiC layers synthesized by implantation of carbon ions into silicon

Fuente: arXiv
Gespeichert in:
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Hauptverfasser: Boukhvalov, D. W., Zatsepin, D. A., Biryukov, D. Yu., Shchapova, Yu. V., Gavrilov, N. V., Zatsepin, A. F.
Format: Preprint
Veröffentlicht: 2024
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