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Ion Energy Tuning for Enhanced sp3 Carbon Fraction in Electron Cyclotron Resonance Ion Beam Deposited Diamond-Like Carbon Coatings: a Computational and Experimental Approach

Fuente: arXiv

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Wiseman, Callum, Gier, Marwa Ben Yaala Chalisa, Marot, Laurent, McCormick, Christopher, Rowan, Sheila, Reid, Stuart
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2024
Schlagworte:	Materials Science Plasma Physics
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