Evaluating Metal-Organic Precursors for Focused Ion Beam Induced Deposition through Solid-Layer Decomposition Analysis

Fuente: arXiv

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Détails bibliographiques
Auteurs principaux:	Jany, Benedykt R., Madajska, Katarzyna, Butrymowicz-Kubiak, Aleksandra, Krok, Franciszek, Szymańska, Iwona B.
Format:	Preprint
Publié:	2024
Sujets:	Mesoscale and Nanoscale Physics Materials Science
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https://arxiv.org/abs/2406.10022