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Transfer printing micro-assembly of silicon photonic crystal cavity arrays: beating the fabrication tolerance limit

Fuente: arXiv

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Bommer, Sean P., Panuski, Christopher, Guilhabert, Benoit, Xia, Zhongyi, Smith, Jack A., Dawson, Martin D., Englund, Dirk, Strain, Michael J.
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2024
Schlagworte:	Optics Applied Physics
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