Heterogeneous integration of high endurance ferroelectric and piezoelectric epitaxial BaTiO$_3$ devices on Si

Fuente: arXiv

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Haque, Asraful, D'Souza, Harshal Jason, Parate, Shubham Kumar, Sandilya, Rama Satya, Raghavan, Srinivasan, Nukala, Pavan
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2024
Schlagworte:	Applied Physics Materials Science
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https://arxiv.org/abs/2407.11338