Complementary two dimensional carrier profiles of 4H-SiC MOSFETs by Scanning Spreading Resistance Microscopy and Scanning Capacitance Microscopy

Fuente: arXiv
Salvato in:
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Autori principali: Fiorenza, Patrick, Zignale, Marco, Zanetti, Edoardo., Alessandrino, Mario S., Carbone, Beatrice, Guarnera, Alfio, Saggio, Mario, Giannazzo, Filippo, Roccaforte, Fabrizio
Natura: Preprint
Pubblicazione: 2024
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