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Low Leakage Ferroelectric Heteroepitaxial Al$_{0.7}$Sc$_{0.3}$N Films on GaN

Fuente: arXiv

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Hauptverfasser:	Yazawa, Keisuke, Evans, Charles, Dickey, Elizabeth, Tellekamp, Brooks, Brennecka, Geoff L., Zakutayev, Andriy
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2024
Schlagworte:	Applied Physics Materials Science
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