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Lift-off free catalyst for metal assisted chemical etching of silicon in vapour phase

Fuente: arXiv

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Ohlin, Hanna, Benz, Bryan, Romano, Lucia, Vogt, Ulrich
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2024
Schlagworte:	Materials Science Applied Physics
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