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Long-Term Aging Study of a Silicon Nitride Nanomechanical Resonator

Fuente: arXiv

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Stephan, Michel, Bouchard, Alexandre, Hodges, Timothy, Green, Richard G., Koukoulas, Triantafillos, Wu, Lixue, St-Gelais, Raphael
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2024
Schlagworte:	Materials Science
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