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Differentiable Edge-based OPC

Fuente: arXiv

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Chen, Guojin, Yang, Haoyu, Ren, Haoxing, Yu, Bei, Pan, David Z.
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2024
Schlagworte:	Artificial Intelligence Optics
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