Dey, B., Monden, M., Blanco, V., Halder, S., & De Gendt, S. (2024). Advancing SEM Based Nano-Scale Defect Analysis in Semiconductor Manufacturing for Advanced IC Nodes.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Dey, Bappaditya, Matthias Monden, Victor Blanco, Sandip Halder, und Stefan De Gendt. Advancing SEM Based Nano-Scale Defect Analysis in Semiconductor Manufacturing for Advanced IC Nodes. 2024.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Dey, Bappaditya, et al. Advancing SEM Based Nano-Scale Defect Analysis in Semiconductor Manufacturing for Advanced IC Nodes. 2024.
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