Dehaerne, E., Dey, B., Blanco, V., & Davis, J. (2024). Scanning Electron Microscopy-based Automatic Defect Inspection for Semiconductor Manufacturing: A Systematic Review.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Dehaerne, Enrique, Bappaditya Dey, Victor Blanco, und Jesse Davis. Scanning Electron Microscopy-based Automatic Defect Inspection for Semiconductor Manufacturing: A Systematic Review. 2024.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Dehaerne, Enrique, et al. Scanning Electron Microscopy-based Automatic Defect Inspection for Semiconductor Manufacturing: A Systematic Review. 2024.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.