TCAD Simulation of Novel Multi-Spacer HK/MG 28nm Planar MOSFET for Sub-threshold Swing and DIBL Optimization

Fuente: arXiv

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Xiao, Zhentao, Zheng, Yihao, Zhang, Zonghao, Shi, Jinhong, Wang, Chenxing, Jiang, Yunteng, Huang, Haimeng, Islam, Aynul, Yang, Hongqiang
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2024
Schlagworte:	Applied Physics
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