Long-term stability and oxidation of ferroelectric AlScN devices: An operando HAXPES study

Fuente: arXiv

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Rehm, Oliver, Baumgarten, Lutz, Guido, Roberto, Düring, Pia Maria, Gloskovskii, Andrei, Schlueter, Christoph, Mikolajick, Thomas, Schroeder, Uwe, Müller, Martina
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2024
Schlagworte:	Materials Science
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