Hybrid approach to reconstruct nanoscale grating dimensions using scattering and fluorescence with soft X-rays

Fuente: arXiv

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Detalles Bibliográficos
Autores principales:	Lohr, Leonhard M., Ciesielski, Richard, Truong, Vinh-Binh, Soltwisch, Victor
Formato:	Preprint
Publicado:	2024
Materias:	Optics
Acceso en línea:	Acceder al recurso
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https://arxiv.org/abs/2410.24048