Microwave power and chamber pressure studies for single-crystalline diamond film growth using microwave plasma CVD

Fuente: arXiv

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Detalles Bibliográficos
Autores principales:	Hien, Truong Thi, Park, Jaesung, Nguyen, Cuong Manh, Shim, Jeong Hyun, Oh, Sangwon
Formato:	Preprint
Publicado:	2024
Materias:	Materials Science
Acceso en línea:	Acceder al recurso
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https://arxiv.org/abs/2411.01096