Design optimization of semiconductor manufacturing equipment using a novel multi-fidelity surrogate modeling approach

Fuente: arXiv
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Autori principali: Wang, Bingran, Kim, Min Sung, Yoon, Taewoong, Lee, Dasom, Kim, Byeong-Sang, Sung, Dougyong, Hwang, John T.
Natura: Preprint
Pubblicazione: 2024
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