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Design and Process Analysis of a Split-Gate Trench Power MOSFET with Bottom-Trench Hk-Pillar Superjunction for Enhanced Performance

Fuente: arXiv

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Hauptverfasser:	Jiang, Yunteng, Xiao, Zhentao, Zhang, Zonghao, Zhang, Juncheng, Wang, Chenxing, Li, Wenjun, Huang, Haimeng, Islam, Aynul, Yang, Hongqiang
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2024
Schlagworte:	Applied Physics
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