Crack-free Sc$_{x}$Al$_{1-x}$N(000$\bar{1}$) layers grown on Si(111) by plasma-assisted molecular beam epitaxy

Fuente: arXiv
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Hauptverfasser: Dinh, Duc V., Chen, Zhuohui, Brandt, Oliver
Format: Preprint
Veröffentlicht: 2024
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