Multi-focal Picosecond laser vertical slicing of 6 inch 4H-SiC ingot

Fuente: arXiv

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Du, Jiabao, Zhao, Shusen, Lu, Xiaoyu, Jiang, Lu, Han, Shifei, Li, Xinyao, Lin, Xuechun
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2024
Schlagworte:	Optics Applied Physics
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https://arxiv.org/abs/2411.18093