A detailed examination of polysilicon resistivity incorporating the grain size distribution

Fuente: arXiv
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Santonen, Mikael, Lahti, Antti, Rad, Zahra Jahanshah, Miettinen, Mikko, Ebrahimzadeh, Masoud, Lehtiö, Juha-Pekka, Snellman, Enni, Laukkanen, Pekka, Punkkinen, Marko, Kokko, Kalevi, Parkkinen, Katja, Eklund, Markus
Format: Preprint
Veröffentlicht: 2024
Schlagworte:
Online-Zugang:
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!