Ferroelectric AlScN thin films with enhanced polarization and low leakage enabled by high-power impulse magnetron sputtering

Fuente: arXiv
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Auteurs principaux: Messi, Federica, Patidar, Jyotish, Rodkey, Nathan, Dräyer, Christoph W., Trassin, Morgan, Siol, Sebastian
Format: Preprint
Publié: 2025
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